5. Деламинаци
Хуванцар битүүмжлэгч ба түүний зэргэлдээх материал хоорондын зайг тусгаарлахыг хэлнэ.Цутгамал микроэлектроник төхөөрөмжийн аль ч хэсэгт деламинац үүсч болно;Энэ нь мөн капсулжуулах процесс, капсулын дараах үйлдвэрлэлийн үе шат, эсвэл төхөөрөмжийг ашиглах үе шатанд тохиолдож болно.
Битүүмжлэх үйл явцын үр дүнд үүссэн холболтын интерфейс муу байгаа нь давхаргыг задлахад гол хүчин зүйл болдог.Интерфэйсийн хоосон зай, капсулжуулалтын явцад гадаргуугийн бохирдол, бүрэн хатаагаагүй зэрэг нь холболт муутай болоход хүргэдэг.Нөлөөлөх бусад хүчин зүйлүүд нь хатах, хөргөх явцад агшилтын стресс, эвдрэл зэрэг орно.Хөргөлтийн явцад хуванцар чигжээс болон зэргэлдээх материалын хооронд CTE-ийн тохиромжгүй байдал нь дулаан-механик стресст хүргэдэг бөгөөд энэ нь давхаргыг задлахад хүргэдэг.
6. Хоосон зай
Цутгах үйл явцын аль ч үе шатанд хоосон зай үүсч болно, үүнд хэвлэх, дүүргэх, савлах, хэвлэх хольцыг агаарт хэвлэх зэрэг болно.Нүүлгэн шилжүүлэх, тоос соруулах зэрэг агаарын хэмжээг багасгах замаар хоосон зайг багасгаж болно.1-ээс 300 Торр (нэг агаар мандлын хувьд 760 Тор) вакуум даралтыг ашигладаг гэж мэдээлсэн.
Дүүргэгчийн шинжилгээнээс үзэхэд энэ нь доод хайлмалын урд талын чиптэй харьцах нь урсгалыг саатуулахад хүргэдэг.Хайлмал урд талын хэсэг нь дээшээ урсаж, чипний захын хэсэгт байрлах том задгай талбайгаар хагас дамжлагын дээд хэсгийг дүүргэдэг.Шинээр үүссэн хайлмал урд хэсэг болон шингэсэн хайлмал хэсэг нь хагас үхрийн дээд хэсэгт орж, цэврүүтдэг.
7. Сав баглаа боодлын жигд бус байдал
Баглаа боодлын зузаан нь жигд бус байх нь эвдрэл, давхарга үүсэхэд хүргэдэг.Шилжүүлэн хэвлэх, даралтат хэвлэх, дусаах савлах технологи зэрэг уламжлалт савлагааны технологи нь жигд бус зузаантай савлагааны согог үүсгэх магадлал багатай.Вафлайн түвшний сав баглаа боодол нь процессын шинж чанараас шалтгаалан жигд бус пластизолын зузаантай байдаг.
Битүүмжлэлийн жигд зузааныг хангахын тулд хусуур суурилуулах ажлыг хөнгөвчлөхийн тулд вафель зөөгчийг хамгийн бага хазайлтаар бэхэлсэн байх ёстой.Түүнчлэн, жигд битүүмжлэлийн зузааныг авахын тулд хусуурын тогтвортой даралтыг хангахын тулд хусуурын байрлалыг хянах шаардлагатай.
Дүүргэгч хэсгүүд нь хэвний нэгдлийн нутагшсан хэсэгт хуримтлагдаж, хатуурахаас өмнө жигд бус тархалт үүсгэх үед материалын нэг төрлийн эсвэл нэг төрлийн бус найрлага үүсч болно.Хуванцар чигжээсийг хангалтгүй холих нь савлах, савлах явцад өөр өөр чанар үүсэхэд хүргэдэг.
8. Түүхий ирмэг
Бөрс нь хуваах шугамаар дамжин өнгөрч, цутгах явцад төхөөрөмжийн зүү дээр тогтдог цутгасан хуванцар юм.
Хавчих даралт хангалтгүй байгаа нь хагарлын гол шалтгаан болдог.Хэрэв тээглүүр дээрх хэвэнд орсон материалын үлдэгдлийг цаг тухайд нь арилгахгүй бол угсралтын шатанд янз бүрийн асуудал гарах болно.Жишээлбэл, дараагийн баглаа боодлын үе шатанд хангалттай наалдсан эсвэл наалдсан.Давирхай урсах нь илүү нимгэн хэлбэр юм.
9. Гадаад тоосонцор
Сав баглаа боодлын материал нь бохирдсон орчин, тоног төхөөрөмж, материалд өртөх юм бол савлагаа доторх гадны тоосонцор тархаж, савлагаа доторх металл хэсгүүдэд (IC чипс, хар тугалга холбох цэг гэх мэт) хуримтлагдаж, зэврэлт болон бусад найдвартай байдлын дараагийн асуудлууд.
10. Бүрэн бус хатаасан
Хатаах хугацаа хангалтгүй эсвэл хатууруулах температур бага байх нь бүрэн хатах шалтгаан болдог.Үүнээс гадна, хоёр капсулын хоорондох холих харьцаа бага зэрэг өөрчлөгдөх нь бүрэн хатах шалтгаан болно.Капсулын шинж чанарыг дээд зэргээр нэмэгдүүлэхийн тулд капсулыг бүрэн эдгээх нь чухал юм.Битүүмжлэх олон аргын хувьд капсулыг бүрэн эдгээхийн тулд дараах хатууралтыг зөвшөөрдөг.Мөн капсулын харьцааг зөв пропорциональ байлгахад анхаарах хэрэгтэй.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 2-р сарын 15