2020 онд дэлхий даяар нэг их наяд гаруй чипс үйлдвэрлэсэн нь манай гараг дээрх хүн бүрийн эзэмшиж, ашигладаг 130 чиптэй тэнцэж байна.Гэсэн хэдий ч сүүлийн үеийн чипний хомсдол энэ тоо дээд хязгаартаа хараахан хүрээгүй байгааг харуулсаар байна.
Хэдийгээр чипсийг ийм их хэмжээгээр үйлдвэрлэж болох ч тэдгээрийг үйлдвэрлэх нь тийм ч амар ажил биш юм.Чипс үйлдвэрлэх үйл явц нь нарийн төвөгтэй бөгөөд өнөөдөр бид хамгийн чухал зургаан үе шатыг авч үзэх болно: тунадасжуулах, гэрэлт тэсвэртэй бүрэх, литографи, сийлбэр, ион суулгах, савлах.
Хадгаламж
Тунаах үе шат нь 99.99% цэвэр цахиур цилиндрээс ("цахиурын ембүү" гэж нэрлэдэг) зүсэж, маш гөлгөр болтол өнгөлсөн хавтангаас эхэлдэг бөгөөд дараа нь дамжуулагч, тусгаарлагч эсвэл хагас дамжуулагч материалын нимгэн хальсыг байрлуулна. Бүтцийн шаардлагаас хамааран хавтан дээр эхний давхаргыг хэвлэх боломжтой.Энэ чухал алхмыг ихэвчлэн "депозит" гэж нэрлэдэг.
Чипс багасч, жижгэрэх тусам вафель дээрх хэв маяг илүү төвөгтэй болдог.Тунах, сийлбэрлэх, литографийн дэвшил нь чипсийг улам бүр жижигрүүлэх, улмаар Мурын хуулийг үргэлжлүүлэх гол түлхүүр юм.Энэ нь хуримтлуулах үйл явцыг илүү нарийвчлалтай болгохын тулд шинэ материалыг ашигладаг шинэлэг арга техникийг багтаасан болно.
Фоторезист бүрэх
Дараа нь вафферийг "фоторезист" (мөн "фоторезист" гэж нэрлэдэг) гэж нэрлэдэг гэрэл мэдрэмтгий материалаар бүрсэн байна.Фоторезистийн хоёр төрөл байдаг - "эерэг фоторезист" ба "сөрөг фоторезист".
Эерэг ба сөрөг фоторезистүүдийн хоорондох гол ялгаа нь материалын химийн бүтэц, гэрэлд үзүүлэх урвалын арга юм.Эерэг фоторезистийн хувьд хэт ягаан туяанд өртсөн хэсэг нь бүтцийг өөрчилж, илүү уусдаг тул сийлбэр хийх, тунадасжуулахад бэлтгэдэг.Харин сөрөг фоторезистүүд нь гэрэлд өртөх хэсгүүдэд полимержих бөгөөд энэ нь тэдгээрийг уусгахад илүү төвөгтэй болгодог.Эерэг фоторезистүүд нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хамгийн их ашиглагддаг, учир нь тэдгээр нь илүү өндөр нарийвчлалтай бөгөөд литографийн үе шатанд илүү сайн сонголт болдог.Одоо дэлхий даяар хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд зориулж фоторезист үйлдвэрлэдэг хэд хэдэн компани байдаг.
Фотолитографи
Фотолитографи нь чип үйлдвэрлэх процесст чухал ач холбогдолтой, учир нь чип дээрх транзисторууд хэр жижиг болохыг тодорхойлдог.Энэ үе шатанд ялтсуудыг фотолитографийн машинд хийж, гүн хэт ягаан туяанд өртдөг.Олон удаа тэд элсний ширхэгээс хэдэн мянга дахин жижиг байдаг.
Гэрлийг "маск хавтан"-аар өрлөг дээр тусгадаг ба литографийн оптик (DUV системийн линз) багасч, маск хавтан дээрх загварчилсан хэлхээний загварыг вафель дээрх фоторезист дээр төвлөрүүлдэг.Өмнө дурьдсанчлан гэрэл фоторезистэд тусах үед химийн өөрчлөлт гарч, маскны хавтан дээрх хэв маягийг фоторезистийн бүрээс дээр дардаг.
Ил гарсан хэв маягийг яг зөв олж авах нь нарийн ширхэгтэй ажил бөгөөд бөөмийн хөндлөнгийн оролцоо, хугарал болон бусад физик, химийн согогуудыг процесст оруулах боломжтой.Ийм учраас бид заримдаа маск дээрх хэв маягийг тусгайлан засч, хэвлэмэл загварыг хүссэнээрээ харагдуулах замаар эцсийн өртөлтийн загварыг оновчтой болгох хэрэгтэй болдог.Манай систем нь "тооцооллын литограф"-ыг ашиглан алгоритмын загваруудыг литографийн машины өгөгдөлтэй хослуулж, эцсийн өртөлтийн загвараас огт өөр маскны загвар гаргахын тулд өргүүрийг туршиж үздэг боловч энэ бол бидний хүрэхийг хүсч байгаа зүйл юм, учир нь энэ нь литографийн машины өгөгдөл юм. хүссэн өртөх загвар.
Сийлбэр
Дараагийн алхам бол хүссэн хэв маягийг илрүүлэхийн тулд доройтсон фоторезистийг арилгах явдал юм."Этч" процессын явцад ваферийг жигнэж, хөгжүүлж, фоторезистийн зарим хэсгийг угааж, нээлттэй сувгийн 3D хэв маягийг илрүүлдэг.Сийлбэр хийх үйл явц нь чипний бүтцийн ерөнхий бүрэн бүтэн байдал, тогтвортой байдлыг алдагдуулахгүйгээр дамжуулагч шинж чанарыг нарийн бөгөөд тууштай бүрдүүлэх ёстой.Дэвшилтэт сийлбэрийн техник нь чип үйлдвэрлэгчдэд орчин үеийн чипний дизайны өчүүхэн хэмжээсийг бүтээхийн тулд давхар, дөрөв болон зайд суурилсан хэв маягийг ашиглах боломжийг олгодог.
Фоторезистүүдийн нэгэн адил сийлбэр нь "хуурай" ба "нойтон" гэж хуваагддаг.Хуурай эш татан сийлбэр нь өрөм дээрх ил гарсан хэв маягийг тодорхойлохын тулд хий ашигладаг.Нойтон сийлбэр нь ваферийг цэвэрлэхэд химийн аргыг ашигладаг.
Чип нь хэдэн арван давхаргатай байдаг тул олон давхаргат чипийн бүтцийн доод давхаргыг гэмтээхгүйн тулд сийлбэрийг сайтар хянаж байх ёстой.Хэрэв сийлбэр хийх зорилго нь бүтцэд хөндий үүсгэх явдал юм бол хөндийн гүнийг яг тохирсон эсэхийг баталгаажуулах шаардлагатай.3D NAND гэх мэт 175 хүртэлх давхаргатай зарим чип загвар нь сийлбэр хийх алхамыг онцгой чухал бөгөөд хэцүү болгодог.
Ионы тарилга
Өрөөнд хээ угалзыг наасан бол эерэг эсвэл сөрөг ионоор бөмбөгдөж хээний хэсгийн дамжуулагч шинж чанарыг тохируулна.Өргөст цаасны материалын хувьд цахиур нь төгс тусгаарлагч эсвэл төгс дамжуулагч биш юм.Цахиурын дамжуулагч шинж чанар нь энэ хооронд хаа нэгтээ ордог.
Цэнэглэгдсэн ионуудыг цахиурын талст руу чиглүүлж, цахилгаан гүйдлийн урсгалыг удирдаж, чипийн үндсэн блок болох транзисторыг "ионжуулалт" гэж нэрлэдэг бөгөөд үүнийг "ион суулгац" гэж нэрлэдэг.Давхаргыг ионжуулсны дараа сийлбэргүй хэсгийг хамгаалахад ашигладаг үлдсэн фоторезистийг арилгана.
Сав баглаа боодол
Өрөөнд чип үүсгэхийн тулд олон мянган алхам хийх шаардлагатай бөгөөд дизайнаас үйлдвэрлэл хүртэл гурван сар гаруй хугацаа шаардагдана.Өргөст хальснаас чипийг арилгахын тулд алмаазан хөрөө ашиглан бие даасан чипс болгон хуваасан."Нүцгэн хэв" гэж нэрлэгддэг эдгээр чипс нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд хэрэглэгддэг хамгийн түгээмэл хэмжээ болох 12 инчийн хавтанцараас хуваагдсан ба чипүүдийн хэмжээ харилцан адилгүй байдаг тул зарим өргүүрт хэдэн мянган чипс агуулагддаг бол зарим нь хэдхэн ширхэгийг агуулж болно. хэдэн арван.
Дараа нь эдгээр нүцгэн ялтсуудыг "субстрат" дээр байрлуулсан бөгөөд энэ нь нүцгэн хавтанцараас оролт, гаралтын дохиог системийн бусад хэсэгт чиглүүлэхийн тулд металл тугалган цаасыг ашигладаг.Дараа нь чипийг ажиллуулах явцад хөргөх бодис агуулсан жижиг хавтгай металл хамгаалалтын савыг "дулаан шингээгч" -ээр хучдаг.
Компанийн танилцуулга
Жэжян НеоДэн Технологийн ХХК нь 2010 оноос хойш төрөл бүрийн жижиг сонгох, байрлуулах машин үйлдвэрлэж экспортолж байна. Өөрийн арвин туршлагатай R&D, сайн бэлтгэгдсэн үйлдвэрлэлийн давуу талыг ашиглан NeoDen нь дэлхий даяарх үйлчлүүлэгчдээс маш их нэр хүндтэй болсон.
дэлхийн 130 гаруй оронд үйл ажиллагаа явуулдаг NeoDen-ийн маш сайн гүйцэтгэл, өндөр нарийвчлал, найдвартай байдалPNP машинуудтэдгээрийг R&D, мэргэжлийн прототип, жижиг, дунд хэмжээний багц үйлдвэрлэлд төгс болгох.Бид нэг цэгийн SMT тоног төхөөрөмжийн мэргэжлийн шийдлийг санал болгож байна.
Нэмэх: Хятад улсын Жэжян муж, Хужоу хот, Анжи мужийн Тианзиху хот, Тианзиху өргөн чөлөө, №18
Утас: 86-571-26266266
Шуудангийн цаг: 2022 оны 4-р сарын 24-ний хооронд